产品介绍
探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。
技术优势
块化设计，可以搭建不同构件完成不同测试
探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节
兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降
漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计
1微米以上电极/PAD使用
加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式
产品模块介绍
通用参数
样品台位移行程 XY110mm，Z轴10mm，360°粗调，±5°精调 | 样品台位移精度 3um |
样品台背电极测试功能 可引出背电极 | 真空吸附 进口无油真空泵，7L/min |
样品固定方式 环形真空吸附 | 探针座行程 XYZ均13mm |
探针座位移精度 3um（可选配升级1um，电动） | 漏电精度 100fA(三同轴线缆) |
探针座安装方式 可调磁力吸附（可升级真空吸附） | 探针座接口形式 三同轴接口 |
显微成像方式 双目体视显微镜（可升级金相显微镜） | 显微镜放大倍数 ~270倍（可选配升级更高倍数） |
图像传感器 2000W高清，支持PC端通讯传输 | 中心距离 140mm，升降范围270mm，总高度350mm |
显微镜位移行程 XY行程25mm/50mm，分辨率3um | 显示器 22寸高清显示器，HDMI高清接口 |
产品示意图
产品应用
科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等
实验附件及常规测试步骤：
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。
测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。